RIE150-1反應離子刻蝕系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:RIE150-1
產(chǎn)品品牌:APEX
產(chǎn)品類別:反應離子刻蝕
專為 6英寸(150mm)晶圓/基片設計的緊湊型干法刻蝕系統(tǒng)
刻蝕均勻性:≤±5%(6英寸圓片);
刻蝕速率:0.1~4μm/min(視具體材料與工藝);&a
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